✅亚星娱乐平台|官网下载✅㊣亚洲最值得信赖的体育综合平台✅亚星娱乐平台|官网下载✅主营:体育,彩票,AG真人,棋牌,电子,电竞赛事等千百款游戏,注册就送体验金✅亚星娱乐平台|官网下载✅欢迎各界玩家加入体验!

<form id="v3cd4"><ins id="v3cd4"></ins></form>
      1. <form id="v3cd4"><legend id="v3cd4"><video id="v3cd4"></video></legend></form>
        <sub id="v3cd4"></sub>
          1. <form id="v3cd4"><span id="v3cd4"><dl id="v3cd4"></dl></span></form>
            <var id="v3cd4"><listing id="v3cd4"><nobr id="v3cd4"></nobr></listing></var>

            铂悦仪器(上海)有限公司

            您当前的所在位置为:亚星娱乐平台|官网下载>产品中心>薄膜应力测量仪>薄膜应力及基底翘曲测试设备
            相关文章

            薄膜应力及基底翘曲测试设备

            更新时间:2020-12-14

            产品品牌:Frontier Semiconductor

            产品型号:FSM 128

            产品描述:FSM128系列设备亚星娱乐平台|官网下载,装备有光学扫描系统亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。

            薄膜应力及基底翘曲测试设备简介
                   FSM率先推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆(Optilever)技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量亚星娱乐平台|官网下载。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,分层亚星娱乐平台|官网下载,突起和空隙是如何形成的问题。FSM128系列设备亚星娱乐平台|官网下载,适合在半导体,三-五族亚星娱乐平台|官网下载,太阳能亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,微机电亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,数据存储和液晶面板行业的下一代器件的研发和生产中使用。

            快速&非接触激光扫描

            3-D 视图 &轮廓图

            可在室温&高温环境下测量

            适用晶圆尺寸 50-300mm(如有其它尺寸测量需求可定制)
            可使用机械手臂搬送晶圆

             

            主要设计特性:
            ·  多用途
            FSM 128 NT 可以兼容测量50-200mm尺寸晶圆亚星娱乐平台|官网下载,而无需更换晶圆样品载片台。FSM 128系列其它型号主要针对其它尺寸样品设计亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。(例如:FSM128L可以测量大到300mm尺寸的晶圆样品,而FSM 128G则专门设计来测量尺寸大到650 x 550mm的面板样品)
            ·  样品容易放置和回收
            设计的可自动伸缩开关门机构亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,方便从样品载片台上放置和回收晶圆样品,使多片晶圆测量变得轻而易举。
            ·  自动切换双波段激光
            FSM128系列具有的自动激光切换扫描技术.当样品反射率不好时亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,系统会自动切换到不同波长的另外一只激光进行扫描亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。这使客户可以测量包括Nitride,Polyimides, Low K亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,High K,金属等几乎所
            有的薄膜而不会遇到无法测量的问题。
            ·  2-D & 3-D Map
            FSM128配备有马达驱动的可旋转载片台亚星娱乐平台|官网下载,可以快速生成2-D&3D Map图帮助用户可以看到整片晶圆的曲率和应力变化分布亚星娱乐平台|官网下载,并准确反映出工艺和均匀性有问题的区域亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。
            ·  薄膜厚度
            FSM128可以整合介电材料薄膜的厚度测量功能亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,使设备变成一台可以在研发和生产环境下灵活使用强大的桌面型设备。

            测量结果图表和Map可以很容易以Excel或者Word文档输出生成报告

            主要应用于半导体, LED,太阳能,数据存储 & 液晶面板产业

            在线留言
            联系我们

            电话:86-021-37018108

            传真:86-021-57656381

            邮箱:info@boyuesh.com

            地址:上海市松江区莘砖公路518号松江高科技园区28幢301室

            Copyright © 2013 铂悦仪器(上海)有限公司 版权所有 备案号:沪ICP备10038023号-1
            亚星娱乐平台|官网下载

            <form id="v3cd4"><ins id="v3cd4"></ins></form>
              1. <form id="v3cd4"><legend id="v3cd4"><video id="v3cd4"></video></legend></form>
                <sub id="v3cd4"></sub>
                  1. <form id="v3cd4"><span id="v3cd4"><dl id="v3cd4"></dl></span></form>
                    <var id="v3cd4"><listing id="v3cd4"><nobr id="v3cd4"></nobr></listing></var>