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            铂悦仪器(上海)有限公司

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            晶圆厚度测量系统

            更新时间:2020-08-12

            产品品牌:Frontier Semiconductor

            产品型号:FSM 413 EC

            产品描述:FSM413回波探头传感器使用红外(IR)干涉测量技术亚星娱乐平台|官网下载。

            非接触式厚度测量亚星娱乐平台|官网下载,可以测量背面研磨减薄和刻蚀后的薄晶圆亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,也可测量粘附在蓝膜或者其他载体上的有图形或凸起的晶圆亚星娱乐平台|官网下载,可应用于堆叠芯片和微机电系统。

            优势:
                   FSM413回波探头传感器使用红外(IR)干涉测量技术亚星娱乐平台|官网下载,可以直接和测量从厚到薄的晶圆衬底厚度变化和总体厚度变化亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。配置单探头系统亚星娱乐平台|官网下载,可以测量一些对红外线透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,石英和一些聚合物,还可以测量常规有图形亚星娱乐平台|官网下载、有胶带、凸起或者键合在载体上晶圆的衬底厚度亚星娱乐平台|官网下载。配置双探头系统时亚星娱乐平台|官网下载,还提供晶圆整体厚度测量(包括衬底厚度和在光不能穿透的情况下的图形高度厚度)亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。选配功能可以测量沟槽深度和通孔深度(包括微机电中的高深宽比的沟槽和通孔)。另外微机电应用中薄膜厚度测量和凸块高度测量也可以选配亚星娱乐平台|官网下载。

            基于FSM Echoprobe红外线干涉测量技术,提供非接触式芯片厚度和深度测量方法。

            Echoprobe技术利用红外光束探测晶圆亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。 
            Echoprobe可用于测量多晶硅亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载、蓝宝石亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载、其它复合物半导体,例如GaAs, InP, GaP, GaN    等。 
            对晶圆图形衬底切割面进行直接测量亚星娱乐平台|官网下载。

             

            行业应用:

            主要应用在研磨芯片厚度控制亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载、芯片后段封装亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载、TSV(硅通孔技术)亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载、(MEMS)微机电系统亚星娱乐平台|官网下载、 侧壁角度测量等亚星娱乐平台|官网下载。
            针对LED行业, 可用作检测蓝宝石或碳化硅片厚度及TTV 

            其它应用:
            ·  沟槽深度测量
            ·  表面粗糙度测量
            ·  薄膜厚度测量
            ·  环氧厚度测量

            Echoprobe™ 回波探头技术可提供对薄晶圆(<100um)的衬底厚度或粘结结构上的薄衬底进行直接和测量亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。

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