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            铂悦仪器(上海)有限公司

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            反射膜厚仪

            更新时间:2021-03-02

            产品品牌:Semiconsoft

            产品型号:MProbe系列

            产品描述:反射膜厚仪是一种非接触式、快速的光学薄膜厚度测量技术亚星娱乐平台|官网下载。

            产品概述

            当一束光入射到薄膜表面时亚星娱乐平台|官网下载,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。

            反射膜厚仪是一种非接触式亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载、无损的亚星娱乐平台|官网下载、快速的光学薄膜厚度测量技术亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。

            测量范围: 1 nm - 1 mm

            波长范围: 200 nm -8000 nm

            光斑尺寸:2um -3 um

             

            标准配置中包含:

            1. 主机(光谱仪亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,光源亚星娱乐平台|官网下载,电线)

            2. 反射光纤

            3. 样品台及光纤适配器

            4. TFCompanion软件

            5. 校准套装

            6. 测试样品,200nm晶圆

             

            广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:

            半导体晶圆亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,薄膜太阳能电池,液晶平板亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,触摸屛亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,光学镀膜亚星娱乐平台|官网下载,聚合物薄膜等

            半导体制造:· 光刻胶          · 氧化物        · 氮化物

            光学镀膜:· 硬涂层          · 抗反射涂层         · 滤波片

            生物医学:· 生物膜厚度         · 硝化纤维

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