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            铂悦仪器(上海)有限公司

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            薄膜应力及基底翘曲测试设备

            更新时间:2020-12-14

            产品品牌:Frontier Semiconductor

            产品型号:FSM 500TC

            产品描述:FSM 500TC 200mm 高温应力测试系统可以帮助研发和工艺工程师评估薄膜的热力学性能和稳定性特性

            薄膜应力及基底翘曲测试设备简介:
                   FSM 500TC 200mm 高温应力测试系统可以帮助研发和工艺工程师评估薄膜的热力学性能和稳定性特性亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,主要应用于半导体亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,三-五族亚星娱乐平台|官网下载,太阳能亚星娱乐平台|官网下载,LED,数据存储亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,微机电和面板产业亚星娱乐平台|官网下载。这些特性有助于检测到诸如薄膜开裂亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,空隙亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,突起等可能在生产过程中导致严重的问题亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。在新工艺和材料投入生产前亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,FSM500TC作为检验其成熟性的工具亚星娱乐平台|官网下载,起着重要的作用亚星娱乐平台|官网下载。

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            ·  样品容易放置和回收
            通过使用定位销使得晶圆很容易放置到 FSM 500TC内进行重复操作
            ·  自动切换双波段激光
            具有的自动激光切换扫描技术.当样品反射率不好时亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,系统会自动切换到不同波长的另外一只激光进行扫描亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。这使客户可以测量包括Nitride亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,Polyimides, Low K亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,HighK,金属等薄膜而不会遇到无法测量的问题亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。
            ·  可编程温度周期
            加热周期菜单可编程为单个或者多个运行在不同的升温速率和退火温度条件下亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载,进行薄膜材料的热稳定性检测亚星娱乐平台|官网下载。
            ·  数据管理和报告
            测试结果可用应力vs温度亚星娱乐平台|官网下载,应力vs时间, 或者晶弓vs温度为坐标生成图表亚星娱乐平台|官网下载,方便显示和输出成 Excel™ 或者 Word格式的报告亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。热膨胀系数计算应用是FSM500TC的标准功能亚星娱乐平台|官网下载亚星娱乐平台|官网下载。

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